STM7測量顯微鏡可以在高倍率下觀察和測量樣品，對質(zhì)量控制和精度保證起著至關(guān)重要的作用。我們的顯微鏡測量軟件提供觀察、測量和報(bào)告創(chuàng)建功能，對于新手和專家來說都很容易操作。了解我們的測量顯微鏡和軟件系列。
STM7顯微鏡具有多功能性，可以提供高性能的、三軸亞微米級精度的零件、電子元件的測量。無論樣品大或小，簡單或復(fù)雜，初學(xué)者或使用熟練者進(jìn)行測量，奧林巴斯STM7系列，可以配置滿足您需要的測量顯微鏡。">

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奧林巴斯顯微鏡

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奧林巴斯STM7測量顯微鏡

我們的測量顯微鏡配置豐富，適應(yīng)性強(qiáng)，能夠滿足各種精密檢測要求。這些顯微鏡具有優(yōu)異的光學(xué)性能，無論對于簡單樣品還是復(fù)雜樣品，都能提供高精度測量，從而有助于提高工作效率。
STM7測量顯微鏡可以在高倍率下觀察和測量樣品，對質(zhì)量控制和精度保證起著至關(guān)重要的作用。我們的顯微鏡測量軟件提供觀察、測量和報(bào)告創(chuàng)建功能，對于新手和專家來說都很容易操作。了解我們的測量顯微鏡和軟件系列。
STM7顯微鏡具有多功能性，可以提供高性能的、三軸亞微米級精度的零件、電子元件的測量。無論樣品大或小，簡單或復(fù)雜，初學(xué)者或使用熟練者進(jìn)行測量，奧林巴斯STM7系列，可以配置滿足您需要的測量顯微鏡。

可按照個(gè)人需求進(jìn)行測量的顯微鏡

無論樣品大小、簡單還是復(fù)雜，或執(zhí)行測量的人員經(jīng)驗(yàn)如何，奧林巴斯STM7系列可提供符合您需求的測量顯微鏡。

顯微鏡

優(yōu)異的光學(xué)性能

STM7系列采用了當(dāng)前先進(jìn)光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2光學(xué)系統(tǒng)。

因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度，像差也被完全消除，以確保實(shí)現(xiàn)對微小細(xì)節(jié)的高精度測量。

花崗巖精制而成的載物臺(tái)基座增強(qiáng)了測量的可靠性

為了進(jìn)一步保證測量精度，STM7系列采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性，使測量可到達(dá)亞微米水平，并大大降低誤差。

顯微鏡

簡單易用的高精度3軸測量

隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測量也日趨重要 — 不僅是XY軸平面的測量，Z軸方向的高精度測量也成為必須。為此，奧林巴斯開發(fā)了采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)。

顯微鏡

嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠

奧林巴斯通過一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的精度，此外，在安裝系統(tǒng)時(shí)，奧林巴斯還提供可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。

顯微鏡  

STM7解決方案

常見問題

STM7解決方案

  • 測量行程無法滿足較大樣品的測量需求{? 由于X軸測量區(qū)域短于Y軸測量區(qū)域，因此必須旋轉(zhuǎn)樣品

  • 由于可測量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上，以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測量

  • STM7提供300 mm x 300 mm載物臺(tái)，能夠測量較大的樣品，包括300 mm晶圓和印刷電路板。

  • X軸和Y軸測量區(qū)域長度相等，因此無需旋轉(zhuǎn)樣品

  • 較長的X軸和Y軸測量區(qū)域允許在載物臺(tái)上排列多個(gè)樣品，實(shí)現(xiàn)更高效的測量

常見問題

STM7解決方案

  • 大多數(shù)傳統(tǒng)測量顯微鏡只能使用測量物鏡或金相物鏡，無法同時(shí)滿足多種觀察要求

  • STM7可滿足多種觀察要求。它不僅允許您根據(jù)自身的需求進(jìn)行低倍率和高倍率觀察、測量需要超長工作距離物鏡的不均勻樣品，甚至還能提供各種觀察方法

常見問題

STM7解決方案

  • 增加功能時(shí)需要添置額外的操作單元。操作員可能無法快速找到相應(yīng)的操作單元，這顯著降低了測量效率

  • 操作單元過多及其分布在主機(jī)周圍的電源會(huì)占用寶貴的工作空間

  • 幾乎所有測量顯微鏡操作都可以在最近的操作單元上高效完成

  • 無論添加多少功能，系統(tǒng)只需要使用單一操作單元和電源，從而釋放了工作空間

常見問題

STM7解決方案

  • 傳統(tǒng)測量顯微鏡使用的模擬量調(diào)節(jié)無法實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)的定量評估，這可能導(dǎo)致測量值隨光強(qiáng)的變化而變化

  • 使用傳統(tǒng)測量顯微鏡時(shí)，每次切換物鏡后可能都需要調(diào)節(jié)光強(qiáng)，從而導(dǎo)致工作流程效率低

  • 由于顯微鏡提供光強(qiáng)值的定量顯示，因此始終能在相同的條件下進(jìn)行觀察和測量

  • 將光強(qiáng)度管理器與編碼物鏡轉(zhuǎn)換器搭配使用時(shí)，切換物鏡后，照明方法和光強(qiáng)會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)為預(yù)設(shè)值

常見問題

STM7解決方案

  • 因需要檢查設(shè)備運(yùn)行狀況（如照明）或查看不同單元上的測量值，這使得整體操作非常繁瑣

  • STM7系列通過單獨(dú)的指示器顯示區(qū)顯示顯微鏡狀態(tài)（如照明）和測量值，有助于用戶輕松完成所有檢查

常見問題

STM7解決方案

  • 進(jìn)行目視測量時(shí)，不同操作員會(huì)測得不同的高度測量值。此外，這種測量方法非常耗時(shí)，效率低下。

  • STM7聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)減少了操作員的主觀性對高度測量的影響。它還可以縮短執(zhí)行高度測量所需的時(shí)間，以實(shí)現(xiàn)更高的效率

常見問題

STM7解決方案

  • 進(jìn)行目視測量時(shí)，不同操作員得出的高度測量結(jié)果也會(huì)不一樣

  • 手動(dòng)執(zhí)行高度測量時(shí)，需要操作員反復(fù)移動(dòng)載物臺(tái)并使用手柄調(diào)焦，這使測量既耗時(shí)又低效

  • 很難對微小的物體聚焦，比如引線

  • 配備自動(dòng)對焦單元，確保測量值始終高度精確，不受操作員的影響

  • 在“跟蹤”模式下，圖像自動(dòng)持續(xù)對焦，從而在極短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高效的高度測量。同一模式的XY測量不需要手動(dòng)對焦，因此提高了效率

  • 使用100倍物鏡時(shí)，激光光斑直徑可以小到1 μm，因此可以局部使用自動(dòng)聚焦，即使是極微小的物體也適用




STM7規(guī)格（手動(dòng)型號）


 手動(dòng)型號


 小型載物臺(tái) 中型載物臺(tái) 大型載物臺(tái)
顯微鏡主體


 STM7-SF STM7-MF STM7-LF
聚焦 垂直移動(dòng)范圍 175 mm 145 mm
最大測量高度 120 mm（使用測量物鏡）
175 mm（使用金相物鏡）		 90 mm（使用測量物鏡）
145 mm（使用金相物鏡）*1
Z軸測量分辨率 0.1 um
Z軸驅(qū)動(dòng)方法 手動(dòng)同軸微調(diào)焦/粗調(diào)焦旋鈕
照明 LED 照明 白色：用于反射光照明，綠色：用于透射光照明
觀察鏡筒 MM6-ETR正像三目鏡筒（100:0/0:100）
目鏡（F.N.22） MM6-OCC10X（帶十字線）、MM6-OC10X
物鏡 BF（明場） MM6C-KMAS
照明
U-5RES-ESD
物鏡轉(zhuǎn)換器
MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X
金相物鏡
BF（明場）/DF（暗場） MM6C-RLAS
照明
U-D5BDRES-ESD
物鏡轉(zhuǎn)換器
LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD
金相物鏡
LED 裝置 白色（反射） MM6-ILW
綠色（透射） MM6-ILG
載物臺(tái)


 STM7-CS100 STM7-CS200 STM7-CS300
測量范圍 X軸100 mm，Y軸100 mm X軸200 mm，Y軸200 mm X軸300 mm，Y軸300 mm
測量精度
（L：測量長度）		 (3+2L/100) μm (3+4L/200) μm (3+6L/300) μm
精度保證重量 6 kg 10 kg 15 kg
計(jì)數(shù)器


 STM7-DI
軸數(shù) 三軸
單位 毫米/微米/英寸/密耳
最低分辨率 0.1 um
控制箱 STM7-CB
手控開關(guān) STM7-HS
聚焦控制器 －
接口線纜 －
防振基座 － STM7-VI
電源線纜 UYCP
尺寸（寬x深x高）mm 466 x 583 x 651 606 x 762 x 651 804 x 1024 x 686
重量（kg） 84 kg 152 kg 277 kg
功耗 100-120/220-240V - 50/60Hz
0.3A/0.2A		 100-120/220-240V - 50/60Hz
0.3A/0.2A		 100-120/220-240V - 50/60Hz
0.3A/0.2A

*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí)，可將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。

物鏡工作距離

物鏡 1X 3X 5X 10X 20X 50X 100X
測量物鏡 MM6-OB系列 59.6 76.8 65.4 50.5 － － －
金相物鏡 MPLFLN系列 明場 － － 20.0 11.0 3.1 1.0 1.0
LMPLFLN系列 長工作距離 － － 22.5 21.0 12.0 10.6 3.4
MPLFLN-BD系列 明場/暗場 － － 12.0 6.5 3.0 1.0 1.0
LMPLFLN-BD系列 明場/暗場，長工作距離 － － 15.0 10.0 12.0 10.6 3.3

STM7-BSW系統(tǒng)要求

項(xiàng)目
CPU 對于STM7-CU相機(jī)，需要Intel Core i3處理器3 GHz或更高；對于DP23/DP28相機(jī)，需要Intel Core i5或同等或更高級別處理器
內(nèi)存 對于STM7-CU相機(jī)，為4 GB或更高；對于DP23/DP28相機(jī)，至少需要8 GB，建議16 GB
硬盤可用空間 安裝需要100 GB或更大硬盤空間，建議使用SSD硬盤以實(shí)現(xiàn)高速圖像采集
顯卡 支持分辨率1980 x 1080和32位色的顯卡
驅(qū)動(dòng)器 DVD驅(qū)動(dòng)器
PC輸入設(shè)備 2鍵鼠標(biāo)（建議使用帶滾輪的3鍵鼠標(biāo)）、鍵盤
操作系統(tǒng) Microsoft Windows 10 Pro/Pro for Workstations（64位）
網(wǎng)絡(luò)瀏覽器 Internet Explorer 11

* 還支持32位和64位Microsoft Office 2013/2016/2019/2021/365 (SAC)。

STM7規(guī)格（電動(dòng)型號）


 電動(dòng)型號


 中型載物臺(tái) 大型載物臺(tái)
顯微鏡主體


 STM7-MFA STM7-LFA
聚焦 垂直移動(dòng)范圍 175 mm 145 mm
最大測量高度 120 mm（使用測量物鏡）
175 mm（使用金相物鏡）		 90 mm（使用測量物鏡）
145 mm（使用金相物鏡）*1
Z軸測量分辨率 0.1 um
Z軸驅(qū)動(dòng)方法 電動(dòng)

  • 聚焦按鈕：粗調(diào)移動(dòng)速度8 mm/s（最大值）

  • 微調(diào)焦/粗調(diào)焦旋鈕：微調(diào)焦速度有4檔可供選擇（800 μm、400 μm、100 μm、50 μm）

照明 LED 照明 白色：用于反射光照明，綠色：用于透射光照明
觀察鏡筒 MM6-ETR正像三目鏡筒（100:0/0:100）
目鏡（F.N.22） MM6-OCC10X（帶十字線）、MM6-OC10X
物鏡 BF（明場） MM6C-KMAS
照明
U-5RES-ESD
物鏡轉(zhuǎn)換器
MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X
金相物鏡
BF（明場）/DF（暗場） MM6C-RLAS
照明
U-D5BDRES-ESD
物鏡轉(zhuǎn)換器
LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD
金相物鏡
LED 裝置 白色（反射） MM6-ILW
綠色（透射） MM6-ILG
載物臺(tái)


 STM7-CS200 STM7-CS300
測量范圍 X軸200 mm，Y軸200 mm X軸300 mm，Y軸300 mm
測量精度
（L：測量長度）		 (3+4L/200) μm (3+6L/300) μm
精度保證重量 10 kg 15 kg
計(jì)數(shù)器


 STM7-DI
軸數(shù) 三軸
單位 毫米/微米/英寸/密耳
最低分辨率 0.1 um
控制箱 STM7-CBA
手控開關(guān) －
聚焦控制器 STM7-MCZ
接口線纜 U-IFCBL200 U-IFCBL200
防振基座 STM7-VI
電源線纜 UYCP
尺寸（寬x深x高）mm 606 x 762 x 811 804 x 1024 x 844
重量（kg） 159 kg 284 kg
功耗 00-120/220-240V50/60Hz 0.6A/0.35A 100-120/220-240V50/60Hz 0.6A/0.35A

*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí)，可將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。

選件

物鏡 測量物鏡 MM6-OB系列
（1X /3X /5X /10X）
聚焦導(dǎo)航器 聚焦導(dǎo)航器裝置 STM7-FN
綠光LED裝置 MM6-ILG
自動(dòng)聚焦 自動(dòng)對焦單元 STM7-AF
微分干涉對比度 用于反射光的U-DICR DIC插槽 U-DICR
軟件/相機(jī)*1 測量支持軟件 STM7-BSW
相機(jī) 低端數(shù)碼相機(jī) STM7-CU
中端數(shù)碼相機(jī) DP23-CU
高端數(shù)碼相機(jī) DP28-CU
TV適配器 帶0.5倍鏡頭的C型相機(jī)接口觀察筒 U-TV0.5XC-3
帶0.35倍鏡頭的C型相機(jī)接口觀察筒 U-TV0/35XC-2
可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái) 行程100 x 100 mm STM7-RS100
行程200 x 200 mm STM7-RS200
行程300 x 300 mm STM7-RS300
ND濾鏡 ND濾鏡（透射率6%） U-25ND6
ND濾鏡（透射率25%） U-25ND25
微分干涉對比度 微分干涉對比度/偏振鏡 U-PO3
微分干涉對比度/檢偏鏡 U-AN360-3
軟件 MIA、EFI（可選軟件） STM7-ASW-ME
腳踏開關(guān) STM7-FS
電源裝置 MM6-ILPS-2
載物臺(tái)測微計(jì) OB-M/OB-MM

*1 支持的相機(jī)因STM7-BSW版本而異。
1.3.3版或更早版本：STM7-CU
1.4.1版或更新版本：DP23/DP28

產(chǎn)品
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